转台采用超精密气浮技术和高精度机电控集成技术，可提供稳定的高速回转运动以及  优异的回转精度，并兼有在轴向和径向高负载高刚度的特点。如果您有空气轴承和气浮转台方面的需求，请联系我们。

旋转空气轴承与气浮转台的优点

•高速度 ( 0-30000rpm可定制 )

•高精确度 ( 旋转精度<100nm )

•大承载 ( 0 --16000kg）

•工作台多种选择 Φ20 - Φ2000

•无摩擦力，无磨损

•低噪音，无污染

•超长寿命，易维护

•接受非标定制

旋转空气轴承

规格与性能

* 请按照规定压力供气，供气压力0.5-0.7MPa；

* 空气质量清洁 (过滤达1.0微米或更佳) IS08573-1 级别1，无油 IS08573-1 级别1，干燥(-15°C露点) IS0 8573-1 级别3。

气浮转台

规格与性能表（以 8 寸晶圆转台为例）

* 请按照规定压力供气，供气压力0.5-0.7MPa；

* 空气质量清洁 (过滤达1.0微米或更佳) IS08573-1 级别1，无油 IS08573-1 级别1，干燥(-15°C露点) IS0 8573-1 级别3。

气浮转台尺寸规格图

气浮转台应用案例

应用领域 

半导体设备减薄机转台   航空发动机装配测试台   航天转动惯量测量平台    精密仪器轴承：圆度仪等