气浮电主轴的优点 

•多极永磁同步电机空间矢量算法（FOC）控制，稳定性好

•高精度，回转精度0.1μm 

•小孔节流与多孔介质可选

•刚度高，动态精度高 

•动平衡优于G0.4（ISO1940）

•承载力大，减少接触的危险 

•半永久寿命，免维护，无磨损 

•可直接选用或根据需求定制

规格与性能

* 请按照规定压力供气，供气压力0.5-0.7MPa；

* 空气质量清洁 (过滤达1.0微米或更佳) IS08573-1 级别1，无油 IS08573-1 级别1，干燥(-15°C露点) IS0 8573-1 级别3。

8"气浮电主轴尺寸规格图

12"气浮电主轴尺寸规格图

应用领域 

半导体晶圆减薄设备  高精度磨床主轴